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水质
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工艺流程
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应用行业
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电导率≤10μs/cm
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原水—活性炭过滤—树脂软化—一级RO—纯水
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电子行业、制造行业、电镀行业、餐饮行业、化工行业、电力行业
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电导率≤5μs/cm
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原水—活性炭过滤—树脂软化—一级RO—二级RO—纯水
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电力行业、光电行业、化工行业、能源行业
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电导率≤1μs/cm
电阻率≥1MΩ.cm
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原水—活性炭过滤—树脂软化—一级RO—二级RO—EDI技术—氮封水箱—杀菌
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光电行业、能源行业、光伏行业、新材料行业
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级别 指标
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EW-I
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EW-Ⅱ
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EW-Ⅲ
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EW-Ⅳ
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电阻率
MΩ﹒cm(25℃)
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18以上
(95N时间)
不低于17
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15
(95N时间)
不低于13
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12.0
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0.5
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全硅，最大值，µg/L
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2 |
10
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50
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1000
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>1µm微粒数，最大值，个/mL
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0.01
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5 |
10
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500
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细菌个数，最大值，个/mL
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0.01
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0.1
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10
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100
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铜,最大值，µg/L
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0.2
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1 |
2 |
500
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锌，最大值，ug/L
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0.2
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1 |
5 |
500
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镍，最大值．µg/L
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0.1
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1 |
2 |
500
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钠．最大值，µg/L
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0.5
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2 |
5 |
1000
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钾，最大值．ug/L
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0.5
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2 |
5 |
500
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氯，最大值．ug/L
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l |
l |
10
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1000
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硝酸根，最大值，ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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磷酸根，最大值．ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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硫酸根，最大值,ug/L
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1 |
1 |
5 |
500
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总有机碳，最大值，ug/L
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20
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100
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200
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1000
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详细标准请至查阅：《电子级超纯水中国国家标准GBT11446》
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